基本信息：
中文名稱 六甲基二硅氮烷
中文別名 六甲基二硅胺(氮)烷;六甲基二硅胺烷;藥用硅氮烷;
英文名稱 hexamethyldisilazane
英文別名 sz6079;tsl8802;Hexamethyldisilazane;1,1,1,3,3,3-hexa-methyldisilazane;HEXAMETHYLISILAZNE;SILAZANE HMN;HMDZ;1,1,1,3,3,3-hexamethyl-disilazane,lithium salt;HMDS;hexamethylsilazane;
CAS號 999-97-3
合成路線：
1.通過三甲基氯硅烷合成六甲基二硅氮烷，收率約66%；
2.通過三甲基氯硅烷合成六甲基二硅氮烷，收率約1%；
以上合成路線僅供參考