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1.以金屬鈮和硅為原料,將金屬鈮和金屬硅進行粉碎,經充分混合后放入石墨爐內,逐漸加熱升溫,當溫度達1000℃使其進行反應,然后通入氫氣,使溫度升至1400~1900℃下再繼續反應,即制得硅化鈮。也可將五氧化二鈮和金屬硅放入還原爐中,使其在1400℃下還原30min以上,即制得硅化鈮。
2.在一直流等離子電弧爐設備中,加熱Nb和Si單質粉末。
3.直接法 以金屬鈮和硅為原料制備硅化鈮,反應式如下。首先將金屬鈮和金屬硅進行粉碎,經充分混合后放入石墨爐內,逐漸加熱升溫,當溫度達1000℃使其進行預反應,然后通入氫氣,使溫度升至1400~1900℃下再繼續反應,即制得硅化鈮。
4.還原法 以五氧化二鈮和金屬硅為原料制備硅化鈮,反應式如下。將五氧化二鈮和金屬硅放入還原爐中,使其在1400℃下還原30min以上,即制得硅化鈮。
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